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針對(duì)超高真空互聯(lián)應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行專業(yè)設(shè)計(jì);

自動(dòng)化程度高:可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制樣品傳送;

位置重復(fù)性好:位置重復(fù)誤差小于0.2mm

傳樣機(jī)械臂在腔體內(nèi)可360°旋轉(zhuǎn);

整體耐高溫:工作溫度大于150℃



圓形樣品傳樣腔

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